迄今為止,三維微成形加工通常指微加工和半導體制造技術(如光刻、離子束加工等)。) 這些加工方法有它們的缺點,例如難以獲得光滑的曲面,這是由它們的成形特性決定的,因為斜面和曲面都是通過步進近似形成的。 相反,基于超細金剛石切割刀片的三維微成形加工的切割和成形過程都是由鋒利的切割刃完成的,因此可以獲得光滑的斜面或曲面 此外,我們的切紙機刀片還具有改進的特性,例如非常高的形狀精度。 另一個優點是增加了材料的選擇范圍 由于上述特點,近年來對滾剪機刀片的需求不斷增加。它不僅用于光電基礎元件的加工,還用于微機電系統、微機械和生物醫學領域。 我們已經成功開發了三種微納成型縱切機刀片,下面將介紹它們的成型實例。

納米滾剪機刀片用于形成超細自由曲面凹槽。 我們開發了世界上最小級別的單晶金剛石立銑刀,其回轉半徑僅為φ μm。 如上所述,納米端銑刀的尖端是通過單晶金剛石的超精密拋光制成的。刀刃非常鋒利、平坦且耐磨。 這種滾剪機刀片有望應用于包括三維曲線(如光學元件、醫療芯片和微機械零件)在內的槽加工。
BLA納米矩形立銑刀成型加工實例
利用滾剪機刀片和回轉半徑為0μm的切刀刀片對模具進行三維銑削加工,形成超細凹槽加工實例清楚地表明,成型切刀刀片的運動通過切刀刀片準確地反映在待加工工件上,不會形成毛刺。 凹槽底部的表面粗糙度(壓力值)達到1納米